Á sviði hálfleiðara eða fljótandi kristalskjárframleiðslu hefur samþætting tækja aukist á undanförnum árum. Við framleiðslu á tæki sem kallast mjög stórfelld samþætt hringrás þarf fínt mynstur sem er 1 míkron eða minna. Í slíku framleiðsluferli er fínt ryk eða mjög lítið magn af óhreinindum frá gasi afhent eða aðsogað á raflögnarmynstrið, sem leiðir til bilunar í hringrás. Þess vegna er nauðsynlegt að bæði hvarfgas og burðargas með mikilli hreinleika, það er aðeins nokkrar agnir og gashreinindi, geta verið til í þessum lofttegundum. Af þessum sökum er nauðsynlegt að háræðarrör úr ryðfríu stáli eða meðlimur noti slíkt gas með mikilli hreinleika og innra yfirborð þess er notað sem mengunarefni til að gefa frá sér mengunarefni, með lágmarks magni af agnum og gasi. Til viðbótar við óvirkar lofttegundir eins og köfnunarefni og argon eru margar lofttegundir sem kallaðar eru sérgreinar einnig notaðar sem lofttegundir til framleiðslu á hálfleiðara. Dæmi um sérhæfðar lofttegundir eru ma ætandi lofttegundir eins og klór, vetnisklóríð og vetnisbrómíð og efnafræðilega óstöðugar lofttegundir eins og ensil. Hið fyrra krefst tæringarþols fyrir gas, en hið síðarnefnda krefst afköst sem hvata ekki.
Hingað til hefur verið sléttað innra yfirborð hlutarins sem notað er til að framleiða hálfleiðaragas til þess að draga úr frásogi eða aðsogi ryks eða vatns þar til Rmax yfirborðshrúfan er 1 míkron eða minna. Hægt er að nota kaldteikningu, vélræna fægingu, efnafræðilega fægingu, fægingu eða blöndu af henni sem aðferð til að slétta innra yfirborð eða hluta pípunnar. Mjög slétt efni að verðmæti 1 míkron eða minna fæst þó aðallega með rafgreiningu. Innra yfirborð pípunnar eða þess háttar er sléttað, síðan hreinsað með miklu hreinu vatni og þurrkað með hreinu gasi til að fá endanlega vöru.
Suðu er almennt notað við suðu. Þetta er vegna þess að suðu getur tryggt mikinn styrk og góða loftþéttleika leiðslunnar. Í lagningu leiðslna er mikil hreinleiki óvirkt gas, venjulega argon, notað sem hlífðargas og innra yfirborð þess hefur samband við háhreinleika gas í gegnum leiðsluna til að forðast að hita hluta mengunar og oxunar í háan hita eins mikið og mögulegt er . Að auki, í lagningu leiðslunnar, er leiðslan hreinsuð með argon eða köfnunarefni með mikilli hreinleika til að fjarlægja þessar agnir og vera enn í pípunni. Þegar leiðslan er löng og flókin, svo sem leiðsla, tekur það nokkra daga til nokkrar vikur. Að undanförnu hefur verið krafist mikillar lækkunar kostnaðar við byggingu hálfleiðara framleiðsluverksmiðju og snemma rekstrar verksmiðjunnar. Til að uppfylla þessar kröfur er nú nauðsynlegt að stytta þrifatímann.
Til viðbótar við ofangreinda eiginleika þurfa pípu- og hreinlætisgasmeðlimir að hafa suðuhæfileika, samskeyti sem þarf fyrir vélrænni innsigli og slitþol; þegar hlutar eins og liðir eru unnir er krafist veikleika Mach. Á hinn bóginn hefur verið vitað að hægt er að bæta sérstakar lofttegundir með tæringarþol og hvata eiginleika, sem þarf til að framleiða hálfleiðarapípur eða svipaðar lofttegundir, með því að hita yfirborð ryðfríu stáli þannig að andrúmsloft, þannig andrúmslofti, hlutþrýstingi súrefnis er stjórnað. Þess má geta að hlutlæg efni leiðslunnar eru tilkynnt sem SUS 316L ryðfríu stáli í þessum bókmenntum.
Ofangreind krafist tæringarþol og hvataafköst eru ekki aðeins fyrir gasleiðslur. Sama eftirspurn er einnig gerð úr ryðfríu stáli sem notað er í ýmsan búnað til framleiðslu á hálfleiðara, þar af einn með fínri wafer vinnslu. Austenitískt ryðfríu stáli, einkum SUS 316L gerð er aðallega notað sem efni fyrir pípur og önnur tæki. Japanska Kokai einkaleyfabókin nr. 161145/1988 sýnir óstaðlað háhreint austenitískt ryðfríu stáli úr stálrörum sem notuð eru í hreinum herbergjum. Innihald úr málmi takmarkar lækkun mangans, kísils, áls og súrefnisinnihalds og dregur þannig úr myndun agna frá innra yfirborði leiðslunnar.
Að auki gaf Japan út einkaleyfaútgáfu nr. 198463, 1989/, sem sýnir ryðfríu stáli fyrir búnað til framleiðslu á hálfleiðara. Þessir meðlimir oxa gas eftir rafefnafræðilega fægingu úr ryðfríu stáli. Við vissar aðstæður myndast oxíðlag með þykkt 100 til 500 angstróma á það og hitað þannig að fjöldi Ni atóma í ytri hlutanum er hlutfall